JP2006315812 DETECTION DEVICE AND INSPECTION DEVICE
1. (WO2007020866) DETECTION DEVICE AND INSPECTION DEVICE
Pub. No.: WO/2007/020866 International Application No.: PCT/JP2006/315812
H01J 37/244 (2006.01), G01R 31/302 (2006.01), H01J 37/29 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
YOSHIKAWA, Shoji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SUEMATSU, Kenichi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NOJI, Nobuharu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: HATAKEYAMA, Masahiro; (JP).
NOJI, Nobuharu; (JP)
Agent: SHAMOTO, Ichio; YUASA AND HARA Section 206, New Ohtemachi Bldg., 2-1 Ohtemachi 2-chome Chiyoda-ku Tokyo1000004 (JP)
2005-234079 12.08.2005 JP
Title (EN) DETECTION DEVICE AND INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE DÉTECTION ET DISPOSITIF D’INSPECTION
(JA) 検出装置及び検査装置
(EN)An inspection device for reducing time loss incident to a detection device replacing operation, comprising a plurality of detection devices (11, 12) for receiving an electron beam emitted from a sample (W) to obtain image data representing the sample (W), a switching mechanism (M) for having one of the plurality of detection devices (11, 12) receive an electron beam, characterized in that the plurality of detection devices (11, 12) are disposed in the same container (MC). The plurality of detection devices (11, 12) each can be a combination of a detection device provided with an electronic sensor for converting an electron beam into an electric signal and another detection device provided with an optical sensor for converting an electron beam into light and then converting the light into an electric signal. The switching mechanism (M) may be a mechanical moving mechanism or an electron beam deflector.
(FR)Dispositif d’inspection diminuant le temps perdu du fait d’une opération de remplacement de dispositif de détection, comprenant une pluralité de dispositifs de détection (11, 12) pour recevoir un faisceau électronique émis par un échantillon (W) et obtenir des données image représentant l’échantillon (W), un mécanisme de commutation (M) de façon à ce qu’un dispositif de détection de la pluralité (11, 12) reçoive un faisceau électronique, caractérisé en ce que la pluralité de dispositifs de détection (11, 12) est disposée dans le même conteneur (MC). La pluralité de dispositifs de détection (11, 12) permet à chacun d’être une combinaison d’un dispositif de détection pourvu d’un capteur électronique convertissant un faisceau électronique en un signal électrique et d’un autre dispositif de détection pourvu d’un capteur optique convertissant en lumière un faisceau électronique et convertissant ensuite la lumière en un signal électrique. Le mécanisme de commutation (M) peut être un mécanisme de déplacement mécanique ou un déflecteur de faisceau électronique.